発振器型熱式マイクロ・フローセンサの検討

カテゴリ: 部門大会

論文No: 31pm3-PS-54

グループ名: 第34回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2017/10/24

タイトル(英語): Study on Oscillator-Type Thermal Micro Flow Sensor

著者名: 星野 敬亮(千葉工業大学),劉(千葉工業大学),健男(千葉工業大学),室 英夫(千葉工業大学)

著者名(英語): Keisuke Hoshino| Jiannan|Liu |Hideo Muro

キーワード: マイクロ・フローセンサ,熱式,SOI-MEMS,発振器,温度センサ

要約(日本語): 熱応力に起因するドリフトの低減とCPUへの接続の容易さを狙った発振器型熱式マイクロ・フローセンサの検討を行うため,SOI-MEMS技術を用いたプロトタイプデバイスの設計と試作を行い,発振回路に組み込んで評価を行った。

要約(英語): In order to study an oscillator-type thermal micro flow sensor aimed at the low drift due to thermal stress and easy interface to CPU, prototype devices using SOI-MEMS technology were designed and fabricated, which were integrated in an oscillator circuited and evaluated.

PDFファイルサイズ: 762 Kバイト