高温域で安定な高ゲージ率を示すCr-Al-N薄膜ひずみセンサ

カテゴリ: 部門大会

論文No: 31pm3-PS-56

グループ名: 第34回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2017/10/24

タイトル(英語): Stable high gauge factor of Cr-Al-N thin film strain sensor in High temperature range

著者名: 丹羽 英二(電磁材料研究所)

著者名(英語): Eiji Niwa()

キーワード: Cr-Al-N薄膜,ひずみセンサ,ゲージ率,高温,感度温度係数

要約(日本語): Cr-N薄膜への第3元素添加により高温において優れたTCS特性と大きなGfを示す材料を得ることを目的として、Cr-Al-N薄膜について調べた結果、Alチップ8個を用いて作製したCr-Al-N薄膜は約450℃まで6～8のGfを示すとともに抵抗の経時変化も小さく、さらに-50℃～350℃の温度領域において約8のほぼ一定なGfを示すことが明らかになった。その温度領域で使用可能な、従来に無い、安定で高感度なひずみセンサとして有望と考えられる。

要約(英語): The author investigated gauge factors of Cr-Al-N thin films in high temperature range. The thin film showed a uniform and high gauge factor of about 8 over the temperature range from -50 to around 350 degree C. The films are able to be expected as high sensitive strain sensors for high temperature.

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