対面型吸着層を用いた半導体式薄膜ガスセンサの開発

カテゴリ: 部門大会

論文No: 31pm3-PS-64

グループ名: 第34回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2017/10/24

タイトル(英語): Semiconductor thin-film gas sensors using a face-to-face type adsorption and desorption layer

著者名: 笹川 大輔(東京電機大学),木下 亮輔(東京電機大学),山口 富治(東京電機大学),原 和裕(東京電機大学)

著者名(英語): Daisuke Sasagawa| Ryosuke Kinoshita |Tomiharu Yamaguchi| Kazuhiro Hara

キーワード: 薄膜センサ,吸着層,活性炭,回転機構,ガス選択性

要約(日本語): 半導体式ガスセンサはガス選択性が低いという欠点を持っている。本研究では、ガス吸脱着部を回転機構上に設置した薄膜ガスセンサを開発した。活性炭を吸着剤として用いることにより、感度及び選択性の向上が得られた。本研究のセンサは、吸脱着応答と感度によってガスの種類を識別することができた。

要約(英語): Semiconductor gas sensors have the drawback of poor gas selectivity. We developed a novel thin-film gas sensor with a gas adsorption and desorption part mounted on a rotation mechanism. By using activated carbon as the adsorbent, the improvement in sensitivity and selectivity was obtained. The sensor was able to discriminate the kind of gas by the sensitivity along with the adsorption and desorption response.

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