単一MEMSセンサ素子による近接覚・触覚計測手法の検討

カテゴリ: 部門大会

論文No: 5AM2-A-1

グループ名: 【E】平成25年電気学会センサ・マイクロマシン部門大会講演論文集

発行日: 2013/10/29

タイトル(英語): Investigation for simultaneous sensing of proximity and tactile information using a single MEMS sensor

著者名: 横山 輔久登 (大阪大学),金島 岳 (大阪大学),奥山 雅則 (大阪大学),安部 隆 (新潟大学),野間 春生 (立命館大学),東 輝明 (ニッタ),寒川 雅之 (大阪大学/新潟大学)

キーワード: 触覚センサ|近接覚センサ|MEMS|マイクロカンチレバー|ハイブリッド

要約(日本語): 単一のMEMSセンサ素子を用いて触覚・近接覚の2つの情報を取得する手法を開発した．触覚情報は,NiCrひずみゲージ薄膜の直流抵抗変化により検出する．一方近接覚情報は,Si基板の光吸収に起因する交流インピーダンス変化により検出する．本研究におけるハイブリッド化にはMEMS技術を用いているため,複数のセンサを実装する際に大幅な省スペース化が期待できる．

要約(英語): A novel method has been proposed to detect proximity and tactile information using a single MEMS sensor. Tactile and proximity informations are obtained from DC resistance and AC impedance changes, respectively. This hybrid MEMS sensor enables the considerable space-saving in the case of multiple sensor application.

PDFファイルサイズ: 986 Kバイト