Cr-Nひずみゲージ薄膜を用いた荷重ベクトルセンサとその応用

カテゴリ: 部門大会

論文No: 5AM2-A-2

グループ名: 【E】平成25年電気学会センサ・マイクロマシン部門大会講演論文集

発行日: 2013/10/29

タイトル(英語): Load vector sensor and its application using Cr-N strain sensitive thin films

著者名: 丹羽 英二 (電磁材料研究所),白川 究 (電磁材料研究所),佐々木 祥弘 (電磁材料研究所),新行内 成晃 (日本電産コパル電子),熊 四輩 (日本電産コパル電子),中原 健司 (タカノ),伊東 孝道 (タカノ)

キーワード: Cr-N|感歪薄膜|ひずみゲージ|力センサ|

要約(日本語): Cr-N薄膜はひずみ感度が大きく特性の温度依存性が小さい新しいひずみセンサ材料であり,高感度なため構造体の剛性を高くすることも可能である．高い剛性が必要な靴底センサ応用に向けてCr-N薄膜を用いた荷重ベクトルセンサシステムの開発を行った．

要約(英語): A Cr-N thin film shows a large gauge factor and a low temperature coefficient of resistivity, which is expected as a new strain gauge material in the next generation. The higher sensitivity enables to enlarge the stiffness of the strain structure. We have studied a force vector sensor using Cr-N thin films for a sole sensor which requires high sensitivity and high stiffness.

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