Fe-B-Nd-Nb磁性金属ガラス薄膜を利用した非接触型電流センサの開発

カテゴリ: 部門大会

論文No: 5AM2-A-3

グループ名: 【E】平成25年電気学会センサ・マイクロマシン部門大会講演論文集

発行日: 2013/10/29

タイトル(英語): Non-contact type current sensors using Fe-B-Nd-Nb magnetic metallic glass cantilever

著者名: 原 基揚 (東北大学大学院),ファン アン　チュアン (東北大学大学院),大口 裕之 (東北大学大学院),桑野 博喜 (東北大学大学院)

キーワード: 薄膜金属ガラス|電流センサ|非接触||

要約(日本語): Fe67.5B22.5Nd6.5Nb5.7磁性金属薄膜ガラス(Fe-MGTF)カンチレバーを用いた共振型電流センサについて報告する．本研究ではMEMS構造体に好適なFe-MGTFを用いてカンチレバー構造を作製し,この構造体の共振応答から近接する配線の通電量の検出を試みた．その結果,共振周波数と電流量の相関を確認し,配線とカンチレバーとの距離が500 ? mのとき24.3 Hz/A2の感度を確認した．

要約(英語): This paper describes non-contact current sensors using Fe67.5B22.5Nd6.5Nb5.7 magnetic metallic glass thin film (Fe-MGTF). When closing the resonating Fe-MGTF cantilever to the feed line, it can be observed that the resonant frequency was decreased by intensity of DC current. The sensitivity of frequency response of 24.3 Hz/A2 was achieved.

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