圧電ダイアフラム型共振周波数可変超音波センサのポーリングによる感度と周波数制御性の向上

カテゴリ: 部門大会

論文No: 5AM2-A-6

グループ名: 【E】平成25年電気学会センサ・マイクロマシン部門大会講演論文集

発行日: 2013/10/29

タイトル(英語): Improved sensitivity and frequency-tunability by poling on piezoelectric diaphragm-type frequency-tunable ultrasonic microsensors

著者名: 田中 光 (京都工芸繊維大学),森本 篤 (京都工芸繊維大学),楊 藝 (京都工芸繊維大学),山下 馨 (京都工芸繊維大学),野田 実 (京都工芸繊維大学)

キーワード: 圧電体|分極|ポーリング|共振周波数|超音波センサ

要約(日本語): 複数周波数計測を目的とした周波数可変圧電ダイアフラム型超音波センサにおいて,強誘電体へのポーリングと共振周波数チューニングを組み合わせることでセンサ特性の向上を試みた．ポーリング電圧による共振周波数シフトを利用し,ポーリング電圧とチューニング電圧の最適な組み合わせを試みたところ,感度の10倍向上を維持したまま共振周波数制御性を10%向上することができた．

要約(英語): Resonant frequency-tunable piezoelectric ultrasonic microsensors have been evaluated in their sensitivity and tunability upon poling on the ferroelectric film. An expanded tunability by 10% with maintaining the improved sensitivity of 10 times has been achieved under the control of the voltages without polarization reversal.

PDFファイルサイズ: 333 Kバイト