化学溶液法を用いたジルコン酸鉛(PZT)厚膜の作製と圧電特性評価

カテゴリ: 部門大会

論文No: 5AM2-E-3

グループ名: 【E】平成25年電気学会センサ・マイクロマシン部門大会講演論文集

発行日: 2013/10/29

タイトル(英語): Evaluation of Piezoelectric Properties of Lead Zirconate Titanate Thick Films Prepared by a Chemical Solution Deposition Process

著者名: 飯島　高志 (産業総合技術研究所)

キーワード: 圧電体|薄膜|ジルコン酸チタン酸鉛|微小電気機械素子|マイクロアクチュエータ

要約(日本語): ジルコン酸チタン酸鉛(PZT)などの圧電体膜を用いた圧電MEMS素子が注目されているが,素子の最適設計のためには,膜そのものの圧電特性を把握することが重要である．しかしながら,Siなどの基板上に形成された圧電体膜は,基板と膜が一体となって変形するため,膜のみの圧電特性を測定することは難しい．そこで,膜厚1～10?mを有するPZT膜を作製し,微小変位測定によるPZT膜の実効的な圧電定数(d33,eff, d31,eff)の評価手法について検討を行った．

要約(英語): PZT film characteristics for MEMS applications are usually affected by the substrate clamping. To evaluate the actual longitudinal and lateral displacement of the PZT films, how to eliminate the substrate clamping effect was investigated. Square shape PZT films were prepared to clarify the relation between an aspect ratio for the film thickness to the side length and an effective piezoelectric constant.

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