動的駆動を利用した低駆動電圧MEMSスイッチの信頼性評価

カテゴリ: 部門大会

論文No: 5PM1-A-2

グループ名: 【E】平成25年電気学会センサ・マイクロマシン部門大会講演論文集

発行日: 2013/10/29

タイトル(英語): Lifetime evaluation on low driving-voltage MEMS switches using dynamic excitation

著者名: 東中 尚樹 (立命館大学),井澤 駿 (立命館大学),肥後矢吉 (立命館大学),古塚 岐 (立命館大学),谷川 紘 (立命館大学),鈴木 健一郎 (立命館大学)

キーワード: MEMSスイッチ|駆動電圧|動的駆動|共振現象|固着力

要約(日本語): MEMSスイッチの実用的な最重要課題は,スイッチの長期信頼性の向上である．スイッチの接点と対向する電極間の固着によりスイッチが動作しなくなるという問題がしばしが発生する．我々は,まず微小領域の材料的観点からスイッチの固着現象の評価を行い,金―金に関する基礎的な評価データを得ることができた．次に,スイッチの長期信頼性を検証するために接触抵抗を自動的に測定する評価系を開発した．

要約(英語): In this presentation, several evaluation results in lifetime measurement in fabricated switches will be reported, from which a better understanding on sticking phenomenon will be reduced.

PDFファイルサイズ: 838 Kバイト