可動MEMSデバイスへの光学素子自動アライメント技術

カテゴリ: 部門大会

論文No: 5PM1-A-4

グループ名: 【E】平成25年電気学会センサ・マイクロマシン部門大会講演論文集

発行日: 2013/10/29

タイトル(英語): AUTOMATICALLY ALIGNED ASSEMBLY TECHNIQUE OF OPTICAL ELEMENT ON THE MOVABLE MEMS DEVICES

著者名: 岡 勇作 (香川大学),篠崎 亮輔 (香川大学),寺尾 京平 (香川大学),鈴木 孝明 (香川大学),下川 房男 (香川大学),高尾 英邦 (香川大学)

キーワード: MEMS|ミラー|SiOB|組み立て|位置合わせ

要約(日本語): MEMSミラーとSilicon optical bench (SiOB)の機能を組み合わせることにより,多くのアプリケーションを可能とし,各光学素子の位置合わせの簡易化を実現できる．しかし可動MEMSデバイス上といった脆弱な構造物上への光学素子の組み立ては難しい．本稿では光学素子とバネを構成したマイクロ構造体と可動MEMSデバイスに構成する台形状のスリットを用いることによる自動的な位置合わせでの固定を提案する．またそれらの組み立てを行い

要約(英語): In this study, Assembly technique of independently fabricated optical devices on fragile MEMS actuator stages has been developed to realize functional optical-MEMS devices. In the experiments, micro mirrors were attached on electrostatic actuators using this assembly technique, and a small average value of relative-angle error around 4/100? was successfully obtained.

PDFファイルサイズ: 1,109 Kバイト