位置検出機能を内蔵した超小型慣性駆動アクチュエータの検討

カテゴリ: 部門大会

論文No: 5PM1-A-5

グループ名: 【E】平成25年電気学会センサ・マイクロマシン部門大会講演論文集

発行日: 2013/10/29

タイトル(英語): Study of Micro Inertial Drive Actuator with built-in position sensor

著者名: 松木 薫 (オリンパス),高橋 雅矢 (オリンパス),森島 哲矢 (オリンパス)

キーワード: アクチュエータ|慣性駆動|複数移動|内蔵センサ|静電吸着力

要約(日本語): 本報告では,幅2.5mm×高さ2mm×長さ20mmで2つの移動体を独立に移動可能とした超小型アクチュエータを試作し,基本性能評価を行った．その結果,100Vの吸着電圧において約20mm/s（駆動周波数16kHz）の移動速度が確認できた．また,内臓センサによる移動体の位置検出が可能であることを確認し,目標制御位置に対して±20umの位置再現性を有することを確認した．

要約(英語): The micro inertial drive actuator with built-in position sensor, which can control two sliders independently, at 2.5 mm in width, 2 mm in height, and 20 mm in length was made as an experiment, and the basic characteristic was evaluated.

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