陽極接合可能なセラミック貫通配線基板を用いた静電駆動型超音波トランスデューサ

カテゴリ: 部門大会

論文No: 5PM1-A-6

グループ名: 【E】平成25年電気学会センサ・マイクロマシン部門大会講演論文集

発行日: 2013/10/29

タイトル(英語): Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducers Using Anodically-Bondable Ceramic Wafer With Through-Wafer Via

著者名: 広島 美咲 芳賀洋一(東北大学大学院)} 松永 忠雄(東北大学) 峯田 貴(山形大学大学院) ()

キーワード: 静電駆動型超音波トランスデューサ|LTCC基板|陽極接合||

要約(日本語): 陽極接合可能なLTCC (Low Temperature Co-fired Ceramics)基板を用いた静電駆動型超音波トランスデューサ（CMUTs）を提案し,ウエハの陽極接合プロセスによって貫通配線付きCMUTsを作製した．CMUTsの上部電極に凸状Auバンブを形成することで陽極接合時にLTCCビアとの電気的接続を行うことができ,レーザードップラー振動計を用いて水中でのデバイスの駆動を確認した．

要約(英語): This paper describes the design and fabrication of CMUTs (Capacitive Micro-Machined Ultrasound Transducers) using an anodically-bondable LTCC (Low Temperature Co-fired Ceramics) wafer. Electrical connection of the top electrode and the LTCC via was successfully performed by forming Au bump on the electrode. Vibration was measured using the fabricated CMUTs in water.

PDFファイルサイズ: 961 Kバイト