バイナリー振動を示す非線形結合シリコン振動子

カテゴリ: 部門大会

論文No: 5PM1-B-4

グループ名: 【E】平成25年電気学会センサ・マイクロマシン部門大会講演論文集

発行日: 2013/10/29

タイトル(英語): Nonlinear coupled silicon resonators having binary vibration

著者名: 三井 陽介 (東北大学大学院),小野 崇人 (東北大学大学院)

キーワード: 非線形性|結合振動子|非線形振動|確率共鳴|論理回路

要約(日本語): 本研究では100nmの厚さのシリコン結合振動子において,機械的な結合による相互作用について調べた．結合された2つの振動子は互いの振幅に応じて,共振周波数のシフト,非線形性のスイッチングを引き起こし,さらには確率共鳴の同期を引き起こす．また,これらの非線形振動子の振動は論理回路として働くことを示した．

要約(英語): We report on the behavior of a nonlinear coupled thin Si resonator. The stochastic resonance responses of the coupled resonators are investigated, and it is found that stochastic resonance is affected by each other. Moreover, the resonant frequency can be shifted and the nonlinearity of each resonator can be switched by mechanical interaction via a thin Si plate.

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