コンビナトリアルスパッタ法によるPZT薄膜の組成最適化

カテゴリ: 部門大会

論文No: 5PM1-E-2

グループ名: 【E】平成25年電気学会センサ・マイクロマシン部門大会講演論文集

発行日: 2013/10/29

タイトル(英語): Composition optimization of PZT thin films by combinatorial sputtering

著者名: 神野　伊策 (神戸大学)

キーワード: 圧電|MEMS|スパッタ|PZT|

要約(日本語): PZT薄膜の圧電デバイス応用が進められている．PZTの圧電特性は組成およびその配向によって左右されるが,薄膜材料においてこれらの依存性を正確に測定することは容易ではない．今回我々はPbTiO3およびPbZrO3ターゲットによる2元スパッタ装置を用いて,Zr/Ti比の異なるPZT薄膜を形成し,その圧電特性のZr/Ti比依存性を調べた．

要約(英語): Piezoelectric properties of PZT thin films strongly depend on the Zr/Ti composition and the film orientation. In this study, we precisely examined compositional dependence of PZT thin films by combinatorial sputtering method.

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