SAMトランスファー法を用いた薄膜キャパシタ構造の樹脂への転写技術の確立

カテゴリ: 部門大会

論文No: 5PM1-F-5

グループ名: 【E】平成25年電気学会センサ・マイクロマシン部門大会講演論文集

発行日: 2013/10/29

タイトル(英語): Establish the method of transfer the thin film capacitor to resin using SAM transfer method

著者名: 天野 佑基 (東京大学),金 範埈 (東京大学),一木 正聡 (産業技術総合研究所)

キーワード: 自己組織化単分子膜|薄膜キャパシタ|チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)|3-メルカプトトリメトキシシラン(MPTMS)|ポリジメチルシロキサン(PDMS)

要約(日本語): シリコン上に作製したPZTの薄膜構造を,ポリジメチルシロキサン(PDMS)樹脂に転写させる手法である,自己組織化単分子膜を接着層として利用するSAMトランスファー法を提案し,樹脂に内蔵された薄膜コンデンサの作製を行う．また最終的に各種携帯機器の,更なる微細化・高密度化を実現させると考えられる部品内蔵基板への展開を目指す．

要約(英語): In this paper, we propose the method that PZT thin layer, which is formed on a Si substrate, can be transferred to polydimethylsiloxane (PDMS) without additional chemical contamination.

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