白金薄膜の表面構造による水素応答評価

カテゴリ: 部門大会

論文No: 5PM3-PSS-075

グループ名: 【E】平成25年電気学会センサ・マイクロマシン部門大会講演論文集

発行日: 2013/10/29

タイトル(英語): The hydrogen response evaluation by the surface structure of the platinum thin film

著者名: 武市 修蔵 (岡山大学),奥井 貴博 (岡山大学),牛田 祐貴 (岡山大学),堺 健二 (岡山大学),紀和 利彦 (岡山大学),塚田 啓二 (岡山大学)

キーワード: 水素センサ|白金薄膜|触媒作用|ゾル-ゲル法|

要約(日本語): 白金薄膜は,水素曝露時において触媒作用によるキャリア増加のため,電気抵抗が減少する．また,白金薄膜の接着性向上のためチタンを積層したが,チタンによるもともとのキャリアの増加のため,センサの感度が低下した．そこで,感度を向上させるため,ゾル-ゲル法による多孔質白金薄膜を提案した．その結果,センサは2倍の感度を実現した．

要約(英語): Electrical resistance of platinum thin film is reduced in presence of hydrogen. Because the carrier increased by catalysis. We stacked the titanium for adhesion improvement of platinum thin film. But Sensitivity fell due to increased career originally by titanium. So we have proposed a platinum thin film porous by the sol-gel method for improving sensitivity. As a result, the sensor achieved twofold sensitivity.

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