粗視化モデルを用いたMEMS化学増幅型ネガレジストの分子構造依存性解析

カテゴリ: 部門大会

論文No: 5PM3-PSS-117

グループ名: 【E】平成25年電気学会センサ・マイクロマシン部門大会講演論文集

発行日: 2013/10/29

タイトル(英語): Molecular structure dependence analysis of chemically amplified negative resist in MEMS by coarse-grain model

著者名: 成瀬 圭介 (関東学院大学),柳生 裕聖 (関東学院大学),平井 義和 (京都大学),土屋 智由 (京都大学),田畑 修 (京都大学)

PDFファイルサイズ: 388 Kバイト