超臨界流体プロセスに基づいたカーボンナノチューブ―銅の複合形成

カテゴリ: 部門大会

論文No: 6AM2-A-1

グループ名: 【E】平成25年電気学会センサ・マイクロマシン部門大会講演論文集

発行日: 2013/10/29

タイトル(英語): Carbon nanotube-Cu Composite Formation based on Supercritical Fluid Process

著者名: 安 忠烈 (東北大学),戸田 雅也 (東北大学),小野 崇人 (東北大学)

キーワード: carbon nanotubes-Cu composite|supercritical fluid deposition|thermal interface material||

要約(日本語): We propose a new approach to synthesize a carbon nanotube (CNT) - copper (Cu) composite on a silicon substrate using combination of supercritical fluid deposition (SCFD) and electrochemical plating (ECP) process. It shows the ability of the CNTs-Cu composite for thermal interface material.

要約(英語): We propose a new approach to synthesize a carbon nanotube (CNT) - copper (Cu) composite on a silicon substrate using combination of supercritical fluid deposition (SCFD) and electrochemical plating (ECP) process. It shows the ability of the CNTs-Cu composite for thermal interface material.

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