MEMS大気圧プラズマ光源

カテゴリ: 部門大会

論文No: 6AM2-A-3

グループ名: 【E】平成25年電気学会センサ・マイクロマシン部門大会講演論文集

発行日: 2013/10/29

タイトル(英語): MEMS atmospheric pressure plasma light source

著者名: 佐藤 龍仁 (豊田工業大学),熊谷 慎也 (豊田工業大学),佐々木 実 (豊田工業大学),堀 勝 (名古屋大学)

キーワード: マイクロプラズマ|誘導接合型プラズマ|高密度|小型化|点光源

要約(日本語): A device for generating the localized high density atmospheric pressure microplasma is realized based on the inductive coupling. The problem of the difficult ignition is solved by setting Al floating electrode. This method is suited for miniaturization and the localized microplasma generation in the MEMS gas channel.

要約(英語): A device for generating the localized high density atmospheric pressure microplasma is realized based on the inductive coupling. The problem of the difficult ignition is solved by setting Al floating electrode. This method is suited for miniaturization and the localized microplasma generation in the MEMS gas channel.

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