原子磁気センサのための新規なオンチップアルカリ金属蒸気セルの作製手法と評価

カテゴリ: 部門大会

論文No: 6AM2-A-4

グループ名: 【E】平成25年電気学会センサ・マイクロマシン部門大会講演論文集

発行日: 2013/10/29

タイトル(英語): New fabrication method of alkali-metal vapor cells for atomic magnetometer

著者名: 辻本 和也 (豊田工業大学),平井 義和 (豊田工業大学),菅野 公二 (豊田工業大学),土屋 智由 (豊田工業大学),田畑 修 (豊田工業大学),藩 和宏 (キヤノン),水谷 夏彦 (キヤノン)

キーワード: 光ポンピング原子磁気センサ|アルカリ金属蒸気セル|ガラスフリット|気密封止|

要約(日本語): 原子磁気センサ用の新規なガスセル作製技術を提案した．多孔質アルミナに,400度以下の低温でKを生成するBaN6とKClを析出させた新規な試料であるAMSTを提案し,従来の約3倍のカリウム生成量を実現できることを示した．AMSTと我々が開発してきた犠牲マイクロ流路気密封止手法を適用してKセルを作製した．十分量のKを封入できたことを確認し,50ピコテスラの高感度磁気センサとして使用出来ることを示した．

要約(英語): We describe a novel on-chip microfabrication technique for the alkali-metal vapor cell of an optically pumped atomic magnetometer (OPAM), utilizing an alkali-metal source tablet (AMST) and our proposed sacrificial microchannel sealing technique. The AMST is porous alumina whose surface area holds deposited KCl and BaN6, that effectively produce alkali-metal vapor at less than 400 °C. K cell was successfully fabricated and operated as an OPAM with sensitivity of 50 pT.

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