微小ゲルカプセルを用いたMEMS構造物のスラリー充填配置

カテゴリ: 部門大会

論文No: 6PM2-A-1

グループ名: 【E】平成25年電気学会センサ・マイクロマシン部門大会講演論文集

発行日: 2013/10/29

タイトル(英語): Slurry Packing Placement of MEMS Microparts Assisted with Gel Microcapsule

著者名: 荒木 慶太 (豊橋技術科学大学),大橋 亮太 (豊橋技術科学大学),本間 浩章 (豊橋技術科学大学),高橋 一浩 (豊橋技術科学大学),澤田 和明 (豊橋技術科学大学),石田 誠 (豊橋技術科学大学),村上裕二 (豊橋技術科学大学)

キーワード: マイクロ化学チップ|MEMSミキサ|マイクロカプセル||

要約(日本語): 本研究では,微細加工されたディスクリートなMEMS構造体をマイクロ流路内で配置することによるマイクロ化学チップの製作,高機能化を提案する．MEMS構造体をマイクロ流路の定めた位置に配置するためにスラリー充填法を用いた．Si-MEMS構造体の懸濁液を作るために,それらをアガロースゲルによりマイクロカプセル化した．カプセルの充填後,熱湯でゲルを除去することで,MEMS構造体を設計した位置に配置した．

要約(英語): This research reports a novel approach to construct and/or functionalize a microfluidic chip with discrete microparts that are microfabricated small enough to place them in a microchannel. Slurry packing method was applied to microparts placement to a certain position of a microchannel.

PDFファイルサイズ: 740 Kバイト