軟磁性体を用いた片持ち梁型小型電流センサ感度に及ぼす磁気異方性の影響

カテゴリ: 部門大会

論文No: 6PM3-PSS-060

グループ名: 【E】平成25年電気学会センサ・マイクロマシン部門大会講演論文集

発行日: 2013/10/29

タイトル(英語): Effect of magneto anisotropy of soft magnets on sensitivity of compact current sensors

著者名: 千葉 由孝 (東北大学大学院),大口裕之 (東北大学大学院),原 基揚 (東北大学大学院),桑野 博喜 (東北大学大学院)

キーワード: 電流センサ|軟磁性体|Fe|片持ち梁|形状磁気異方性

要約(日本語): 本研究では軟磁性体を用いた片持ち梁型電流センサの高感度化を目指し,形状磁気異方性がセンサ出力に与える影響を調査した．磁化容易軸および困難軸に沿って磁化した鉄を用いた2種類のデバイスを作製したところ,前者において約1.5倍のセンサ出力が得られた．この結果から,軟磁性体の大きな飽和磁気モーメントを利用してセンサの高感度化を実現するには,形状磁気異方性を考慮した設計が重要であることが明らかとなった．

要約(英語): We investigated the effect of magnetic shape anisotropy on a cantilever type current sensor with a soft magnet. The output signal of the sensor with the iron magnetized along easy axis is 1.5 times larger than that with magnetized along hard axis. We should consider the effect of its magnetized directions to design appropriately such kind of sensors.

PDFファイルサイズ: 824 Kバイト