MEMS共振器周波数可変機能の電気測定評価

カテゴリ: 部門大会

論文No: 6PM3-PSS-062

グループ名: 【E】平成25年電気学会センサ・マイクロマシン部門大会講演論文集

発行日: 2013/10/29

タイトル(英語): Electrical measurement evaluation on the frequency selection in MEMS resonators

著者名: 辻下 勝洋 (立命館大学),黒田 真二朗 (立命館大学),谷川 紘 (立命館大学),鈴木 健一郎 (立命館大学)

キーワード: MEMS共振器|高次モード|周波数可変|インピーダンス|共振

要約(日本語): 試作したFishbone型MEMS共振器の機械振動特性評価を簡略化することを目的にインピーダンスアナライザを用いた電気測定評価を行った．いくつかの共振モードを検出することができたが,機械振動特性評価では明確に観察された共振モードのいくつかが電気測定評価では観測されなかった．このような複雑な動作をもつデバイスの電気測定評価においては,サブビームの変形によって発生する電気変化も考慮する必要がある．

要約(英語): Electrical characteristics of a fabricated fishbone-shaped MEMS resonator are experimentally evaluated and compared with mechanical ones.

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