白金薄膜抵抗を用いたブリッジ回路型水素センサの開発

カテゴリ: 部門大会

論文No: 6PM3-PSS-074

グループ名: 【E】平成25年電気学会センサ・マイクロマシン部門大会講演論文集

発行日: 2013/10/29

タイトル(英語): Development of the bridge circuit type hydrogen sensor using the platinum film resistance

著者名: 牛田 祐貴 (岡山大学大学院),奥井 貴博 (岡山大学大学院),武市 修蔵 (岡山大学大学院),堺 健司 (岡山大学大学院),紀和 利彦 (岡山大学大学院),塚田 啓二 (岡山大学大学院)

キーワード: 水素センサ|白金薄膜|ブリッジ回路||

要約(日本語): 白金薄膜は水素の存在によってキャリア密度が増加し抵抗が減少する．本研究ではこの抵抗変化を電圧変化へと変化するブリッジ回路型水素センサの開発を行った．また,このセンサの作製工程にフォトリソグラフィ工程を用いることでブリッジ回路の形成を容易にした．そして,このセンサは室温において水素濃度0.1％以上の濃度を検知可能であるとわかった．

要約(英語): Resistance of a platinum thin film is reduced by carrier density increment in presence of hydrogen gas. We developed a bridge circuit type hydrogen sensor which converted this resistance change into a voltage change. As a result, the sensor was able to detect over 0.1% of hydrogen concentration in room temperature.

PDFファイルサイズ: 718 Kバイト