ポリエチレンテレフタレート(PET)をターゲットとして高周波スパッタリングにより成膜した有機薄膜の揮発性有機化合物の吸着特性

カテゴリ: 部門大会

論文No: 6PM3-PSS-080

グループ名: 【E】平成25年電気学会センサ・マイクロマシン部門大会講演論文集

発行日: 2013/10/29

タイトル(英語): Adsorption properties of an organic thin film prepared by an r.f. sputtering with a poly(ethylene terephthalate) (PET) target for volatile organic compounds (VOCs)

著者名: 大西 康貴 (東海大学),岩森 暁 (東海大学),野田 和俊 (産業技術総合研究所)

キーワード: 揮発性有機化合物|水晶振動子|高周波スパッタリング|ポリエチレンテレフタレート|

要約(日本語): 水晶振動子（QCM）の金電極上に高周波スパッタリング法によりフッ素系有機薄膜であるポリテトラフルオロエチレン（PTFE）薄膜と,フッ素を含まない有機系薄膜としてポリエチレンテレフタレート（PET）薄膜を形成し,これら薄膜の構造がトルエン,アセトアルデヒド,エタノール,アセトンなどのVOCガスや水に対する吸着特性に及ぼす影響を比較,考察することを目的に検討を行った．

要約(英語): The organic thin films were deposited onto a quartz crystal by an r.f. sputtering with poly(tetrafluoroethylene) (PTFE) and polyester (PET) targets, and we tried to evaluate detection sensitivities for the VOCs, e.g., toluene, acetaldehyde, ethanol and acetone, and water using quartz crystal microbalance (QCM) method.

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