表面弾性波を利用した集積型点集束噴霧器

カテゴリ: 部門大会

論文No: 6PM3-PSS-092

グループ名: 【E】平成25年電気学会センサ・マイクロマシン部門大会講演論文集

発行日: 2013/10/29

タイトル(英語): Integrated point source atomization system using surface acoustic wave

著者名: 杉本 駿 (東北大学大学院),矢部 敦士 (東北大学大学院),原　 基揚 (東北大学大学院),桑野 博喜 (東北大学大学院)

キーワード: 表面弾性波|霧化|マイクロポンプ||

要約(日本語): plオーダのポンプが集積化された点集束型噴霧器の開発を行った．該ポンプはリザーバとIDT対で構成され,IDTから照射されるSAWによってリザーバ内の液体が吐出される．また,噴霧器は一対の円弧状IDTで構成され,円弧形状によって集束されたSAWを液体に照射することで噴霧を得る．試作されたポンプはバースト信号で駆動され,1バースト当たり0.3 plの吐出を得た．また,円弧状IDTによる噴霧実験を行い,幅0.7 mmの点集束噴霧に成功した．

要約(英語): SAW based atomizers integrated with micro pumps were developed. The pump consisted of a reservoir and IDT pair. Applying burst signals to the IDT, pl order discharging was obtained. In the atomizer, IDT has arc shape. This IDT can converge the SAW and atomize the liquid as a point source.

PDFファイルサイズ: 752 Kバイト