ドライエッチング技術によるフッ素樹脂プレートの微細構造形成

カテゴリ: 部門大会

論文No: 6PM3-PSS-114

グループ名: 【E】平成25年電気学会センサ・マイクロマシン部門大会講演論文集

発行日: 2013/10/29

タイトル(英語): Microstructure Formation on Fluorine Polymer Plates by Dry Etching Technique

著者名: 鍋澤 浩文 (富山県工業技術センター),人母 岳 (立山マシン),安部 隆 (新潟大学),関 実 (千葉大学)

PDFファイルサイズ: 697 Kバイト