Fabrication of micro tube array by combining positive and negative type photoresists due to solubility difference in developer

カテゴリ: 部門大会

論文No: 6PM3-PSS-116

グループ名: 【E】平成25年電気学会センサ・マイクロマシン部門大会講演論文集

発行日: 2013/10/29

タイトル(英語): Fabrication of micro tube array by combining positive and negative type photoresists due to solubility difference in developer

著者名: 大塚 和俊 (長岡技術科学大学大学院),高橋 健太 (日産化学工業),河合 晃 (長岡技術科学大学)

PDFファイルサイズ: 383 Kバイト