Si/Polymerヒンジを組み合わせた2軸Hybrid-MEMSミラー

カテゴリ: 部門大会

論文No: 6PM3-PSS-120

グループ名: 【E】平成25年電気学会センサ・マイクロマシン部門大会講演論文集

発行日: 2013/10/29

タイトル(英語): Dual-axis Hybrid-MEMS mirror using Si/Polymer hinges

著者名: 山下 紘史 (香川大学),寺尾 京平 (香川大学),高尾 英邦 (香川大学),下川 房男 (香川大学),大平 文和 (香川大学),鈴木 孝明 (香川大学)

PDFファイルサイズ: 359 Kバイト