パリレン薄膜セルフアクチュエーター基板を用いたECoG電極アレイの開発

カテゴリ: 部門大会

論文No: 7AM2-A-3

グループ名: 【E】平成25年電気学会センサ・マイクロマシン部門大会講演論文集

発行日: 2013/10/29

タイトル(英語): Self-curling and -sticking flexible substrate for ECoG electrode array

著者名: 山際 翔太 (豊橋技術科学大学),石田 誠 (豊橋技術科学大学),河野 剛士 (豊橋技術科学大学)

キーワード: ECoG電極アレイ|柔軟基板|薄膜|Bi-Parylene構造|

要約(日本語): 低侵襲である膜厚10μm以下の薄膜皮質脳波(Electro Corticogram, ECoG)電極アレイの手術時の操作性を維持するため,電極基板自らが測定対象に張り付くセルフアクチュエーティング可能なパリレンN/C基板を提案した．始めにパリレンN/Cの熱特性を算出し,予備実験より基板自ら”カール”し,湿った凹凸に表面張力によって自己密着することが確認した．また実際にパリレンN/Cを用いてECoG電極を作製したところ,ECoGを記録する

要約(英語): We report a flexible electrocorticogram (ECoG) electrode array device with self-actuating properties, to solve the difficulty of the handling of thin (< 10 μm) substrate devices. The thermal dependences of the deflection and curvature radius of the paylene-N/-C system were calculated. The self-curled substrate has been observed and the self-sticking of the curled device has been demonstrated on wet samples, due to the surface tension. The impedance, which values are small enough to record ECoG s

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