静電駆動型Split-Ring共振子アレイのTHzフィルタ応用

カテゴリ: 部門大会

論文No: 7PM1-B-2

グループ名: 【E】平成25年電気学会センサ・マイクロマシン部門大会講演論文集

発行日: 2013/10/29

タイトル(英語): An Electrostatic Split-Ring Resonator Array for THz Filter Applications

著者名: Zhengli Han (東京大学),河野 健太 (東京大学),平川 一彦 (東京大学),藤田 博之 (東京大学),年吉 洋 (東京大学),Makela Tapio (ＶＴＴ技術研究所),Haatainen Tomi (ＶＴＴ技術研究所)

キーワード: テラヘルツ光|スプリット・リング共振器|静電駆動|表面マイクロマシニング|

要約(日本語): 金属系材料の表面マイクロマシニング技術を用いて静電駆動型のMEMS Split-Ring Resonator (SRR) アレイを構成し,各要素の透過/遮断を制御することによって新たにテラヘルツ光用のバイナリ・オプティクスを構成すること検討している．これまでの成果として,アルミを犠牲層,金を構造に用いたMEMS-SRR構造を製作し,電磁界解析結果で説明できるテラヘルツ透過スペクトルを測定したので報

要約(英語): We propose a tunable filter for terahertz light based on the surface micromachined split-ring resonator (SRR) array. A suspended bridge within the SRR pixel is electrostatically tuned to control the c

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