アコースティックエミッション計測のためのカンチレバーを用いた超音波センサの製作と真空中特性評価

カテゴリ: 部門大会

論文No: 7PM1-B-3

グループ名: 【E】平成25年電気学会センサ・マイクロマシン部門大会講演論文集

発行日: 2013/10/29

タイトル(英語): Fabrication of ultrasonic sensor using cantilever and characteristic measurement in vacuum for acoustic emission sensing

著者名: 高田 健伍 (東北大学),佐々木 敬 (東北大学),羽根 一博 (東北大学),田中 満之 (メムス・コア),齋藤 寛 (3),松浦 大輔 (三菱重工業)

キーワード: アコースティックエミッションセンサ|シリコンカンチレバー|ピエゾ抵抗効果|Q値|真空パッケージ

要約(日本語): 機械部品に発生する破壊の前兆となる微小な亀裂から生じるAE波を検出することでその安全性を確保する手法が注目されている．本研究では,MEMS技術によるマイクロカンチレバーを用いた共振型AEセンサを設計,製作した．製作したマイクロカンチレバーの圧力依存性を明らかにするとともに,ノイズの影響を考慮してアンプを近接させた簡易的な真空パッケージによるセンサの試作を行った．

要約(英語): Acoustic emission (AE) sensor is attractive to detect machine fracture in real-time. We fabricated cantilever-type AE sensor using MEMS technology and measured the properties in vacuum chamber. We also tentatively packaged the AE sensor and an amplifier in vacuum to decrease the influence of air damping and noise.

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