電気的接触検知機能付きCMOS-MEMSプローブカードによるウェハーレベルLED素子の高精度測定

カテゴリ: 部門大会

論文No: 7PM1-B-4

グループ名: 【E】平成25年電気学会センサ・マイクロマシン部門大会講演論文集

発行日: 2013/10/29

タイトル(英語): High precision measurement of on-wafer LED devices by CMOS-MEMS probe card with electrical contact sensing function

著者名: 保坂 航太 久保田 雅則 三田 吉郎(東京大学) Yu-Tang Chen(}Industrial Technology Research Institute of Taiwan:ITRI) ()

キーワード: プローブカード|MEMSプローブ|ケルビン測定|スケーティング|ウェハレベルテスト

要約(日本語): There are fundamental problems on probe cards which made of tungsten or MEMS technologies. To detect the contact electrically, to decrease excess skating and to measure more precisely, we fabricated MEMS probe with two needles per cantilever. And, the demonstrations show the successful implementation with our proposal device.

要約(英語): There are fundamental problems on probe cards which made of tungsten or MEMS technologies. To detect the contact electrically, to decrease excess skating and to measure more precisely, we fabricated MEMS probe with two needles per cantilever. And, the demonstrations show the successful implementation with our proposal device.

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