エアロゾル充填によるセンサー用マイクロ熱電変換素子の高熱抵抗化の実現

カテゴリ: 部門大会

論文No: 7PM1-B-5

グループ名: 【E】平成25年電気学会センサ・マイクロマシン部門大会講演論文集

発行日: 2013/10/29

タイトル(英語): Increased thermal resistance of micro thermoelectric generators effective for a sensor-node by using aero-sol deposition and mold filling

著者名: 壷井 修 (富士通研究所),高馬 悟覚 (富士通研究所),西野 琢也 (富士通研究所)

キーワード: 熱電変換|高アスペクト比|エネルギーハーベスティング|熱抵抗|センサーネットワーク

要約(日本語): ガラスモールド内に熱電材料パウダーをエアロゾル堆積法により充填することで,半導体技術では困難であった高アスペクト比を有しかつ高剛性な特徴をもつマイクロ熱電変換素子を開発した．感光性ガラスを用いてアスペクト比3.3の熱電変換素子を作製し,18 μW/K2/cm2の発電電力と従来比3倍の高熱抵抗を実現した．自然空冷ヒートシンクの一般的な熱抵抗を加味すると4.8倍の電力増大効果があることを見積もった．

要約(英語): A high output voltage micro thermoelectric generator, made by aerosol deposition and photosensitive glass mold, has been developed for energy harvesting from a human body. The μTEG with an aspect ratio of 3.3 reaches 3-times higher thermal resistance, 2.8-times higher output voltage, and 4.8-times more output power than the conventional..

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