役に立つMEMSに向けて

カテゴリ: 部門大会

論文No: 7PM2-A-1

グループ名: 【E】平成25年電気学会センサ・マイクロマシン部門大会講演論文集

発行日: 2013/10/29

タイトル(英語): Toward Practically Applicable MEMS

著者名: 江刺 正喜 (東北大学)

キーワード: 微小電気機械システム|マイクロシステム|センサー|ヘテロ集積化|オープンコラボレーション

要約(日本語): MEMSはシステムの鍵を握る重要な要素として用いられる．しかし多様な知識や高価な設備を必要とするので実用化は容易でない．回路との集積化やパッケージングなど,実際に役立つMEMSに向けた技術的な取り組みについて述べる．

要約(英語): MEMS play important roles as key components in systems. However it is not easy to be applied in market because these require heterogeneous knowledge and　expensive facilities. Technical approaches for the practically applicable MEMS as hetero integration with circuit and packaging will be presented.

PDFファイルサイズ: 1,771 Kバイト