高温超伝導バルクによる磁気浮上を適用したフォトマスク用非接触スピン処理装置の研究開発　‐ターンテーブルの振動特性とその抑制法の検討‐

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: ASC13027

グループ名: 【B】電力・エネルギー部門 超電導機器研究会

発行日: 2013/09/24

タイトル(英語): Research and Development of Non-contact Spin Processor for Photo Mask Production Applying Magnetic Levitation Using HTS Bulks - Investigation of Vibration Characteristics of Turntable and Its Suppression Method -

著者名: 斎藤 公世(新潟大学),福井 聡(新潟大学),岡 徹雄(新潟大学),小川 純(新潟大学),佐藤 孝雄(新潟大学)

著者名(英語): Saito Kimiyo(Niigata University),Fukui Satishi(Niigata University),Oka Tetsuo(Niigata University),Ogawa Jun(Niigata University),Sato Takao(Niigata University)

キーワード: 高温超伝導バルク|スピン処理装置|回転中心|振動抑制|センタ統合化|High-temperature superconducting bulk|Spin processing unit|Center of rotation|Vibration suppression|Center integration

要約(日本語): 我々は，半導体製造用スピン処理装置に高温超伝導バルクによる磁気浮上を適用し，微粒子ダストが発生しない非接触スピン処理装置の研究開発に取組み，数種類のモデル装置を試作し適用性評価を行ってきた。その結果，装置実用化にはターンテーブルの振動を根本的に低減する必要があることが分かった。本研究ではターンテーブルの動特性と回転軸との関係を実験的に評価し，それらを統合化して振動抑制の方法について検討を行った。

要約(英語): For use in semiconductor manufacturing, we have researched and developed a non-contact spin processing apparatus using a superconducting magnetic levitation.　Results far, a prototype model several devices, we evaluated the applicability, it was found that it is necessary to significantly reduce the vibration of the turntable.　In this study, we consider the relationship between the rotation center and the dynamic characteristics of the turntable, and confirmed the effectiveness by experiments.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,669 Kバイト