希ガス希釈酸素プラズマの光学診断 - 酸素及び希ガス準安定原子密度の計測 -

カテゴリ: 部門大会

論文No: III-1

グループ名: 【A】平成17年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2005/08/22

著者名: 高橋慶 (防衛大学校),北嶋武 (防衛大学校),中野俊樹 (防衛大学校)

キーワード: プラズマプロセス|発光分光法|吸収分光法

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