フッ素系ガスプラズマRIEを用いたLiNbO3結晶のマスクを使用しない微細表面加工

カテゴリ: 部門大会

論文No: III-4

グループ名: 【A】平成17年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2005/08/22

タイトル：フッ素系ガスプラズマRIEを用いたLiNbO₃結晶のマスクを使用しない微細表面加工

著者名: 藤井隆裕 (同志社大学),小俣輝明 (同志社大学),吉門進三 (同志社大学)

キーワード: LiNbO₃|プラズマRIE|エッチング表面|マスク非使用|微細加工

PDFファイルサイズ: 4,786 Kバイト