MoSi2薄膜高温発熱体の作製とその応用

カテゴリ: 部門大会

論文No: VIII-3

グループ名: 【A】平成17年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2005/08/22

タイトル：MoSi₂薄膜高温発熱体の作製とその応用

著者名: 伊東佑規 (同志社大学),脇坂憲一 (同志社大学),吉門進三 (同志社大学)

キーワード: 薄膜高温発熱体|MoSi2薄膜|高真空対応|RFマグネトロンスパッタリング法|アルミナるつぼ|Mo薄膜

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