マグネトロンスパッタ法によるTiO2薄膜の光触媒効果ならびに電気抵抗率の挙動

カテゴリ: 部門大会

論文No: VIII-4

グループ名: 【A】平成17年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2005/08/22

タイトル：マグネトロンスパッタ法によるTiO₂薄膜の光触媒効果ならびに電気抵抗率の挙動

著者名: 早川孝宏 (日本大学),新妻清純 (日本大学),移川欣男 (日本大学)

キーワード: マグネトロンスパッタ|結晶構造|光触媒|接触角|吸光度|電気抵抗率

PDFファイルサイズ: 6,125 Kバイト