交流表面光電圧法によるAu/Siショットキー障壁の解析

カテゴリ: 部門大会

論文No: IX-3

グループ名: 【A】平成17年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2005/08/22

著者名: 大森絵理 (日本大学),清水博文 (日本大学),池田正則 (日本大学)

キーワード: 交流表面光電圧法|Si表面ポテンシャル|Au|ショットキー障壁

PDFファイルサイズ: 655 Kバイト