導電膜／レジスト層構造のSTMリソグラフィによるナノ加工技術

カテゴリ: 部門大会

論文No: IX-7

グループ名: 【A】平成17年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2005/08/22

著者名: 米井健治 (芝浦工業大学),佐竹寿和 (芝浦工業大学),高須賀庸行 (芝浦工業大学),板谷太郎 (産業技術総合研究所)

キーワード: STM|レジスト|トンネル電流|導電性薄膜|ナノ加工|電子露光

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