Si(001)表面における極薄酸化膜の成長に及ぼすZnの影響

カテゴリ: 部門大会

論文No: IX-10

グループ名: 【A】平成17年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2005/08/22

著者名: 若島裕也 (日本大学),清水博文 (日本大学),池田正則 (日本大学),佐藤拓 (日本大学)

キーワード: Si|極薄酸化膜|Zn|XPS

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