高密度窒素プラズマ支援スパッタリングによる窒化ガリウム成長

カテゴリ: 部門大会

論文No: IX-11

グループ名: 【A】平成17年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2005/08/22

著者名: 松本貴士 (産業技術総合研究所),木内正人 (産業技術総合研究所)

キーワード: スパッタリング|窒化ガリウム

PDFファイルサイズ: 595 Kバイト