ゾル-ゲル法によるZnO透明酸化物薄膜の作製

カテゴリ: 部門大会

論文No: IX-12

グループ名: 【A】平成17年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2005/08/22

著者名: 米増拓郎 (日本大学),岩田展幸 (日本大学),山本寛 (日本大学)

キーワード: ZnO|薄膜|酸化物|スピンコート法

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