多段式真空蒸着装置を用いたCuInS2薄膜太陽電池の作製と評価

カテゴリ: 部門大会

論文No: X-5

グループ名: 【A】平成17年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2005/08/22

タイトル：多段式真空蒸着装置を用いたCuInS₂薄膜太陽電池の作製と評価

著者名: 嶋田隆史 (芝浦工業大学),下村拓也 (芝浦工業大学),米井健治 (芝浦工業大学)

キーワード: 太陽電池|化合物半導体|真空蒸着装置|CuInS₂|CdS|薄膜

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