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大気圧Heホローカソード放電プラズマの電子・ガス温度の推定

大気圧Heホローカソード放電プラズマの電子・ガス温度の推定

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カテゴリ: 部門大会

論文No: XV-3

グループ名: 【A】平成17年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2005/08/22

著者名: 今泉裕之 (防衛大学校),京都大介 (防衛大学校),北嶋武 (防衛大学校),中野俊樹 (防衛大学校)

キーワード: He|マイクロプラズマ|電子温度|ガス温度|発光分光法

PDFファイルサイズ: 891 Kバイト

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