大電流パルスパワー電源によるEUVプラズマの生成

カテゴリ: 部門大会

論文No: (2)-1

グループ名: 【A】平成17年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2005/08/22

著者名: 大嶋伸明 (長岡技術科学大学),久保田有吾 (長岡技術科学大学),横尾知行 (長岡技術科学大学),徳地明 (ニチコン),江偉華 (長岡技術科学大学),八井浄 (長岡技術科学大学)

キーワード: EUV光源|パルスパワー|放電生成プラズマ|プラズマフォーカス

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