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EUV光源を目的としたコンパクトなZピンチプラズマの挙動観測
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カテゴリ: 部門大会
論文No: (2)-2
グループ名: 【A】平成17年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集
発行日: 2005/08/22
著者名: 勝木淳 (熊本大学),秋吉伸一 (熊本大学),今村英樹 (熊本大学),堀田寛之 (熊本大学),佐久川貴志 (熊本大学),浪平隆男 (熊本大学),秋山秀典 (熊本大学)
キーワード: Zピンチ|EUV|プラズマ|Xe|干渉計測
PDFファイルサイズ: 824 Kバイト
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