放電型EUV光源のプラズマ制御と変換効率の改善

カテゴリ: 部門大会

論文No: (2)-5

グループ名: 【A】平成17年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集

発行日: 2005/08/22

著者名: 菊地淳史 (東京工業大学),高橋謙作 (東京工業大学),中島充夫 (東京工業大学),MASNAVI Majid (東京工業大学),河村徹 (東京工業大学),志甫諒 (東京工業大学),堀田栄喜 (東京工業大学),堀岡一彦 (東京工業大学)

キーワード: EUV|短波長光源|パルスパワー|キャピラリー|プラズマ|リソグラフィー

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